中芯国际14nm量产国产配套产业链迎历史机遇
■ 国信证券 欧阳仕华 唐泓翼 14nm制程主要用于人工智能及物联网的核心应用,中芯国际14nm承载着国内技术产业革命的科技基石,为上下游产业链开启重要的发展契机——充分激发上游设备及材料端等配套产业链的国产替代加速;下游终端应用客户拥有芯片制造端有力支持,打破缺芯瓶颈;中下游封装测试配套产业链获得来自上下游双方的需求升级。 中芯国际技术突破+国内晶圆厂建设热潮配套产业需求将成倍增长 近年来中国晶圆厂建设进度加快,芯思想研究院数据显示,中国大陆地区近年来总计34家FAB工厂在筹建、投产或新增产能,其中规模较大的22家FAB中,2019年有4家在建厂完毕逐步投产,14家在建,4家在规划中或新增规划。根据主要厂家数据测算,总计将投入约3777亿元,若按65%~70%为设备投资,则需2455亿~2600亿元增量设备需求。 国产高端材料及设备产业迎历史机遇关注细分领域龙头公司 伴随晶圆厂向国内的产业转移,我们预计市场对半导体设备及材料的需求将进一步增长。 半导体设备及材料国产化是半导体产业升级的主要环节,目前设备平均国产化率仅5%~10%,半导体材料的国产化率约20%,替代空间巨大。考虑国内设备及材料龙头企业与国际龙头企业的收入差距在50倍左右 (2亿美元VS100亿美元),国内半导体设备及材料企业拥有高度成长性,国内半导体设备产业也有望从跟随走向超越。 具体来看,中芯国际等制造端龙头企业的崛起,将给产业链相关公司带来历史机遇: 一是半导体设备。比如,中微公司 (具备CVD、刻蚀、清洗和立式炉等综合制造能力)、北方华创 (具备介质刻蚀、TSV硅通孔刻蚀及MOCVD设备等能力)。 二是半导体材料。靶材类:有研新材 (高纯溅射靶材及电镀阳极)、江丰电子 (超高纯度溅射靶材)、阿石创 (PVD镀膜材料)。封装基板类:深南电路 (封装基板)、兴森科技 (封装基板+测试)。特种气体:华特气体 (国内光刻特种气体龙头,进入英特尔、美光、中芯国际等配套产业链)。其他材料类别:飞凯材料 (芯片黏结材料)、鼎龙股份 (抛光垫业务和柔性OLED基板关键材料)、强力新材 (光刻胶)、上海新阳 (大硅片、清洗液、电镀液及切割材料)。 三是封装测试配套。芯片封测龙头:长电科技 (国内封测龙头)、华天科技 (先进封装领先企业)。存储封测产业链:通富微电 (AMD+长江存储)、深科技 (长江存储)、太极实业 (长江存储)等。 表1:国内主要产线及项目投资额 项目名称 晶圆尺寸产能(干片/月)投资 投产 SK海力士半导体 (中国)有限公司 12英寸 80 86亿美元投产 中芯国际集成电路制造 (天津)有限公司二期 8英寸 100 15亿美元投产 武汉新芯集成电路制造有限公司 12英寸 300 240亿美元投产 长鑫存储技术有限公司 12英寸 120 214亿美元在建 中芯南方集成电路制造有限公司 12英寸 35 102.4亿美元在建 华虹半导体 (无锡)有限公司一期 12英寸 40 25亿美元在建 三星 (中国)半导体有限公司二期一阶段 12英寸 80 70亿美元在建 广州粤芯半导体技术有限公司 12英寸 40 70亿元在建 上海积塔半导体有限公司 12英寸 50 359亿元在建 上海积塔半导体有限公司 8英寸 60在建 上海积塔半导体有限公司 (碳化硅) 6英寸在建 江苏时代芯存半导体有限公司 12英寸 10 43亿元在建 重庆万国半导体科技有限公司 12英寸 20在建 赛莱克斯微系统科技 (北京)有限公司 8英寸 30在建 中芯集成电路制造 (绍兴)有限公司 8英寸 58.8亿元在建 海辰半导体 (无锡)有限公司 8英寸 100 67.9亿元在建 中芯集成电路 (宁波)有限公司二期 8英寸 30 39.9亿元在建 济南富能半导体有限公司 8英寸 30 50亿元规划 华润微电子重庆项目 12英寸规划 矽力杰半导体青岛项目 12英寸 40 180亿元规划 吉林华微电子股份有限公司 12英寸 20 10亿元规划 四川中科晶芯集成电路制造有限公司 8英寸 资料来源:芯思想研究院、国信证券经济研究所整理 表2:长江存储部分设备采购清单 供应商 产品 对长江存储供货状况 北方华创 刻蚀、清洗、退火、氧化炉、PVD 累计56台 中微公司 刻蚀 38台 盛美半导体 清洗 18台 精测电子 量测 5台测试,3台膜厚 屹唐半导体 刻蚀、热处理、去胶 46台 中科飞测 量测 3台 睿励科技 量测 2台沈阳拓荆 (中微) CVD 5台 芯源 涂胶显影、清洗 验证中 华海清科 CMP 11台 至纯科技 高纯工艺业务硅产业 (上海新癉) 12英寸硅片 正片通过长江存储认证 江丰电子 金属靶材 有合作 安集科技 抛光液 2018年获收入1891万元 华特气体 电子气体 通过认证 雅克科技 电子气体、化学液体注入补充供应系统 供货 晶瑞股份 高纯度双氧水、高纯度氨水等 通过认证 资料来源:公司公告、中国国际招标网、国信证券经济研究所整理
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